金属ZnO肖特基二极管的特性及优化设计文献综述

金属/氧化锌(ZnO)肖特基二极管作为一种重要的半导体器件，在光电探测、气体传感、光伏转换等领域展现出巨大应用潜力。

本综述首先介绍了ZnO材料的特性、肖特基接触基本原理以及金属/ZnO肖特基二极管的应用领域。

接着，重点概述了近年来金属/ZnO肖特基二极管的研究进展，包括不同金属接触、界面修饰层、器件结构等对器件性能的影响。

此外，还分析了当前研究存在的挑战，并展望了未来发展方向，旨在为高性能金属/ZnO肖特基二极管的设计和应用提供参考。

关键词：氧化锌；肖特基二极管；金属接触；界面修饰；器件优化

肖特基二极管是一种金属-半导体接触形成的单向导电器件，具有开关速度快、正向压降低、反向电流小等优点，广泛应用于整流、检波、混频、限幅等电路中[18]。

氧化锌(ZnO)作为一种宽禁带半导体材料，具有优异的光电性能、化学稳定性和压电性能，在光电子器件、传感器、太阳能电池等领域具有广阔的应用前景[20]。

金属/ZnO肖特基二极管结合了金属和ZnO的优异特性，近年来成为研究热点。

金属/ZnO肖特基二极管的性能受多种因素影响，其中金属接触电极的选择是关键因素之一。

不同金属功函数与ZnO的电子亲和能差异会导致肖特基势垒高度不同，从而影响器件的电学特性[19]。